半導体検査および計測アプリケーション向け光学フィルター
ナノスケールの精度が製品の成否を左右する半導体製造の世界では、光学フィルターが重要な役割を果たしますが、見落とされがちです。Chroma Technology では、光学フィルターの品質が検査プロセスの精度に直接影響し、最終的には半導体の性能に影響することを理解しています。
Chroma: 半導体検査のパートナー
当社は、以下のフィルターを含む半導体検査の厳しい要求を満たすように設計された高度な光学フィルターの作成を専門としています。
欠陥検出
半導体の品質と性能を維持するためには、ウェハ表面の欠陥を検出し分類することが不可欠です。当社のフィルターは高精度の検出を可能にし、最終製品の欠陥を最小限に抑えます。
レーザーによる検査
熱伝導率や抵抗の測定を含むレーザーベースの検査技術は、高品質の光学フィルターに依存しています。Chroma のフィルターは、半導体のパフォーマンスを最適化するために不可欠な、正確で信頼性の高い測定を保証します。
材料特性評価
半導体製造に使用される材料の特性を理解することは非常に重要です。当社のフィルターは詳細な材料特性評価に役立ち、材料の品質と性能に関する貴重な情報を提供します。
オーバーレイ精度検査
半導体製造において、連続する層が完全に揃っていることを保証するには、正確なオーバーレイ精度を達成することが不可欠です。クロマ フィルターは、オーバーレイの偏差を検出して修正する際に優れた精度を実現します。
粒子検出
正確な粒子検出は、汚染を回避し、製品の寿命と信頼性を確保するために不可欠です。Chroma のフィルターは、粒子検出システムの感度と精度を高めるように設計されています。
地下調査
短波赤外線 (SWIR) 範囲を利用して層を透視し、隠れた欠陥を発見します。当社のフィルターは、可視スペクトルでは見えない問題を検出するために必要なスペクトル性能を提供します。
これらのアプリケーションは半導体検査における当社の強みの一部ですが、当社の専門知識はこれらの領域をはるかに超えています。半導体検査のニーズが何であれ、当社は精度と性能の限界を押し上げる特殊な光学フィルター ソリューションの開発に取り組んでいます。Chroma フィルターには、次のようなさまざまな利点があります。
正確な波長選択
半導体検査では、特定の波長の光を分離して分析する能力が、微細な詳細や微細な欠陥を検出するために不可欠です。クロマ フィルターは、検査能力を高めるために設計された機能により、比類のない光制御を提供します。
高い透過率で信号強度を最大化
ノイズを低減する深いブロッキング、フルレンジの帯域外ブロッキングが可能
スペクトル識別を強化する急峻なエッジ
1 オングストロームの超狭帯域から数百ナノメートルに及ぶ帯域まで、カスタマイズ可能な帯域幅
これらの機能により、高度に選択的なレーザーベースの測定から半導体特性の広範囲スペクトル分析まですべてが可能になり、包括的な検査プロセスに必要な汎用性が提供されます。
Superior Optical Performance
波長の選択だけでなく、フィルターの全体的な光学性能も半導体検査の精度と信頼性に重要な役割を果たします。当社のフィルターは、業界の厳しい基準を満たし、それを上回るように設計されています。
反射波面と透過波面の歪みが少なく、優れた画質を実現
偏光に敏感なアプリケーションに適した低位相遅延
厳しい産業環境に適した高耐久性
これらの高度な機能により、Chroma フィルターは半導体検査のニーズに応える堅牢な基盤を提供し、品質管理、プロセス最適化、材料特性評価の可能性の限界を押し広げることができます。
品質と一貫性へのこだわり
当社は、フィルターの信頼性と一貫性がお客様のプロセスにとって重要であることを理解しています。そのため、当社は製造プロセス全体を通じて厳格な品質管理措置を維持しています。ISO 認定企業として、当社は業務において厳格な基準を順守しています。
さらに、当社の包括的な品質保証手順により、当社が製造するすべてのフィルターがお客様の正確な要件を一貫して満たすことが保証され、重要な検査アプリケーションに必要な自信と安心感を提供します。
さまざまなユースケースに対応するフィルター オプション
半導体アプリケーション用のフィルター作成における当社の豊富な経験には、次のものが含まれます。
シングルおよびマルチバンド バンドパス フィルター: 特定の波長範囲を選択して対象を絞った検査を行います。
ビーム コンバイナーおよびビームスプリッター: 光線を分割して、同時に複数のパスを分析できるようにします。
ダイクロイック ミラーおよびポリクロイック ミラー: 特定の波長を反射しながら、他の波長を透過します。光を異なる波長帯に分離します。
ロングパス フィルターおよびショートパス フィルター: 長い波長または短い波長のいずれかを通過させ、反対の波長をブロックすることで、正確なスペクトル分離を可能にします。
ノッチ除去フィルター: 特定の波長をブロックし、他の波長を通過させます。
これらのフィルター タイプは、半導体分野における当社の能力のほんの一部にすぎません。当社は豊富な経験を活かして、半導体検査および製造プロセスにおける幅広い光学フィルタリングのニーズに対応しています。
光源用のフィルター
Chroma では、幅広いフィルターの在庫を維持しており、その多くは半導体検査で使用されるさまざまな光源向けに特別に設計されています。
レーザー
LED について
白色光源
組み合わせソース
当社の包括的な在庫品は、紫外線 (UV) から短波赤外線 (SWIR) までの全スペクトル範囲を網羅しており、さまざまな光源との互換性が保証されています。当社の豊富な既存設計により、多くの場合、お客様の要件に合わせてフィルターのサイズを迅速にカスタマイズし、迅速に出荷してリードタイムを最小限に抑えることができます。
半導体検査用カタログフィルター
最も一般的に必要とされるフィルターについては、半導体検査アプリケーションで頻繁に使用される以下のカタログ オプションも提供しています。
追加のフィルタータイプ
ステップバイステップのカスタムフィルター設計プロセス
カタログに掲載されていないフィルター設計についても、当社は最も困難なフィルター要件にも対応できる能力を誇りにしています。当社の設計プロセスでは、段階的なプロセスにより、常にお客様のアプリケーションに最適なフィルターを確実に提供できます。
コンサルティング: まず、当社のチームがお客様と協力し、お客様の特定のニーズとアプリケーションの課題を徹底的に理解します。
設計の最適化: 20,000 を超える独自のフィルター設計のデータベースを活用して、既存の設計を適応させるか、新しい設計を作成して、お客様のアプリケーションに最適なパフォーマンスを実現します。
シミュレーションとプロトタイピング: 独自の光学モデリング ツールを使用してフィルターのパフォーマンスをシミュレートし、必要に応じてテスト用のプロトタイプを作成します。
製造: 設計が確定したら、最先端の設備を使用してフィルターを製造し、最高の品質と一貫性を確保します。
品質保証: すべてのフィルターは、当社の厳格な基準とお客様の特定の要件を満たすために厳格なテストを受けます。
要求の厳しいアプリケーション向けの光学フィルターの製造で数十年の経験を持つ当社は、お客様が直面する特有の課題を理解しています。既存の設計に小さな変更を加える場合でも、まったく新しいフィルターが必要な場合でも、Chroma の専門知識により、お客様のアプリケーションにぴったり合った最高のパフォーマンスと価値をお届けします。
